[发明专利]用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线圈的模具和方法在审
| 申请号： | 202080094513.7 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN114981915A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·胡梅尔 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01Q1/26;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高岩;董娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文披露了用于生产射频(RF)线圈的模具和方法的多个不同的实施例。所披露的模具包括圆柱形内芯和两件式压缩套筒，该圆柱形内芯具有在圆柱形内芯的外表面内形成的第一螺旋形凹槽，该两件式压缩套筒具有在两件式压缩套筒的内表面内形成的第二螺旋形凹槽。当两件式压缩套筒的部分附接到一起时，两件式压缩套筒包围圆柱形内芯并且向布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的导体提供压缩力以生产RF线圈。在一些实施例中，可以使用三维(3D)打印过程来单独地生产模具的每个零件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 等离子体 处理 设备 射频 rf 线圈 模具 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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