[发明专利]固体和液体材料的蒸气输送系统

摘要

披露了蒸气输送系统，其包括：壳体本体，该壳体本体在其中限定了内部容积；多个阻流器，该多个阻流器用于接收载气，以在该内部容积中产生气体分配管线；至少两个表面，该固体或液体前体施加到该至少两个表面，以允许该载气沿这些气体分配管线在该至少两个表面上经过以与固体或液体前体蒸气混合；气体收集装置，该气体收集装置在这些气体分配管线的下游、用于将该载气和该固体或液体前体蒸气的混合物输送出系统；以及流量控制器，该流量控制器被流体地连接至载气源，以控制进给至该内部容积中的载气的进给流率。沿每个气体分配管线的气体分配流率由进给至该内部容积中的载气的进给流率控制。