[发明专利]一种用于电子束焊的栅极电压实时测量装置在审

专利信息
申请号: 202110002367.7 申请日: 2021-01-04
公开(公告)号: CN112816762A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 杨波;许海鹰;桑兴华 申请(专利权)人: 中国航空制造技术研究院
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00;G01R15/22;B23K15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100024 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种用于电子束焊的栅极电压实时测量装置,包括直流高压降压电路,栅极电压降压电路,比例运算电路,光耦隔离放大电路,以及干扰信号处理电路。本发明通过双路电阻局部降压的方式,分别获得对地约‑300V的直流高压采样值以及对地约‑310V的栅极电压叠加直流高压的采样值,并经过差动放大器作差后输入高速光耦放大器中,以获得比例为1:1的对地电压0~‑10V的栅极电压采样值,根据比例关系可以精确的求出栅极电压工作状态下实际的栅极电压值,这种方式有效的弥补了无法直接测量设备工作状态下实际的栅极电压值的缺点,同时能够实现大比例降压,有效的提高了采样的精度。
搜索关键词: 一种 用于 电子束 栅极 电压 实时 测量 装置
【主权项】:
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