[发明专利]一种谐振型气体传感器在审
| 申请号： | 202110002775.2 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112816419A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 袁宇鹏;张祖伟;杨靖;王登攀;何香君 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所;中电科技集团重庆声光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 卢胜斌 |
| 地址： | 400060*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种谐振型气体传感器，包括：集成光源、光声池、声学探测器、电路层基板，所述电路层基板上设置集成光源和声学探测器，集成光源上设置有滤光片，所述光声池为半封闭腔体，所述光声池与电路层基板的形状结构相适应且共同组合成带孔的封闭腔体，电路层基板上设置的集成光源、光声池、声学探测器包裹于光声池的腔体内；所述光声池包括一个支撑骨架和多个谐振面，支撑骨架和谐振面粘连组合成半封闭腔体，谐振面中至少有一个面较薄，谐振面中的任意一面或多面开设有一个或者多个较小的气孔，气孔外侧设置有防水透气膜或防水透声膜。本发明的谐振型气体传感器灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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