[发明专利]一种高速一维大功率激光扫描用的八面棱镜装置有效
申请号: | 202110004487.0 | 申请日: | 2021-01-04 |
公开(公告)号: | CN112817147B | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 冯军;杨志坚;李荣奇 | 申请(专利权)人: | 上海镭天激光设备有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人: | 汤俊明 |
地址: | 201100 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种高速一维大功率激光扫描用的八面棱镜装置,包括聚焦场镜,所述聚焦场镜的上方连接有固定壳体,且固定壳体的内部设置有八面棱镜,所述八面棱镜的后端安装有第三净化冷却空气吹气口,且第三净化冷却空气吹气口的下方安装有反射镜,所述八面棱镜的一侧安装有固定隔板,且固定隔板内壁的底部贯穿连接有单向排气阀,所述固定隔板的一侧连接有伺服电机,且伺服电机的后端安装有第二净化冷却空气进口。该高速一维大功率激光扫描用的八面棱镜装置设计了冷却结构,对八面棱镜及光学腔室连续吹送经过净化的冷却空气,保证光学镜面在连续工作过程中的热稳定性,并保持光学腔室相对外部形成正压,以保持腔室的洁净。 | ||
搜索关键词: | 一种 高速 大功率 激光 扫描 棱镜 装置 | ||
【主权项】:
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