[发明专利]掩模组件和制造掩模组件的方法在审
| 申请号： | 202110006236.6 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN113249682A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金世一;李尚玟;金義圭;白大源 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开涉及掩模组件和用于制造掩模组件的方法。掩模组件包括：掩模框架，包括在第一方向上并排地定位并由支撑条限定的第一掩模开口和第二掩模开口；第一分离掩模，与所述第一掩模开口重叠；以及第二分离掩模，与所述第二掩模开口重叠，并且所述第一分离掩模和所述第二分离掩模在与所述支撑条重叠的区域中彼此间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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