[发明专利]用于原子钟的微型微波腔及制备方法有效
申请号: | 202110007942.2 | 申请日: | 2021-01-05 |
公开(公告)号: | CN112886176B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 王鹏飞;王晨;赵峰;梅刚华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 |
主分类号: | H01P7/06 | 分类号: | H01P7/06;G04F5/14;H01P11/00 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 李鹏 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了用于原子钟的微型微波腔,包括原子气室和基片,基片的长方形薄板状电介质的底面全区域镀金属镀膜,顶面中部镀设矩形金属镀膜,顶面四周镀设口字型金属镀膜,原子气室包括气室基体,气室基体的两个侧壁上镀有旋向相同的螺旋铜走线,产生与光轴方向垂直的静磁场,屏蔽罩的底面开口罩设在口字型金属镀膜上,还包括用于原子钟的微型微波腔的制备方法,本发明微波腔结构简单,可借助微机电加工工艺将原子气室集成在硅基片上,大幅降低微波腔的体积和功耗;原子气室内微波磁场的偏振方向一致性好且与量子化轴的方向平行,易于获得高强度原子鉴频信号,对制得高稳定度的原子钟是有益的。 | ||
搜索关键词: | 用于 原子钟 微型 微波 制备 方法 | ||
【主权项】:
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