[发明专利]面向下一代高速通信的锆钛酸铅薄膜及其制备方法、应用有效
| 申请号： | 202110008078.8 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112723754B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 邱枫 | 申请（专利权）人： | 聚合电光(杭州)科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C03C17/25;C03C17/27;C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 郭成文 |
| 地址： | 310024 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种面向下一代高速通信的锆钛酸铅薄膜及其制备方法、应用，器件的材料是基于镧系硝酸盐晶种层，采用溶胶‑凝胶法制备锆钛酸铅前驱体溶液，经旋涂和退火制得PZT晶体薄膜，可获得结构均匀致密的，具有优势取向的，钙钛矿型PZT单相晶体薄膜。本发明的方法操作简单、能耗低、成本低，且生长的薄膜为纯钙钛矿型单相晶体薄膜，透明度高，耐高温，薄膜厚度和尺寸易于调节，可以满足各种电光调制器件的需求。本发明制备的薄膜锆钛酸铅具有非线性效应，电光效应，压电效应，热电效应等，可以制备集成光子回路中的光波导、光开关、分/合束器、压电调制器、热电调制器与电光调制器等器件。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 下一代 高速 通信 锆钛酸铅 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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