[发明专利]一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法在审
| 申请号： | 202110008161.5 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112742249A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 赵剑锋;贺贤汉;王琪琳 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小型研磨搅拌桶，包括研磨捅，所述研磨捅顶部设置有供液槽，所述供液槽的液体出口连接至研磨捅内；所述研磨捅内还设置有进水管路；所述研磨捅内还设置有搅拌桨，所述搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的0.5‑0.8倍；所述搅拌桨通过可调节搅拌速度的减速电机带动旋转；工作原理是通过加大研磨桶内的搅拌桨，使之作用范围更大，同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅，保持研磨液不沉淀；可以提高研磨桶搅拌效率，避免研磨液不均匀带来的机械伤不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型 研磨 搅拌 提高 使用 效率 方法 | ||
【主权项】：
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