[发明专利]一种具有温度补偿功能的声表面波换能器的制备方法有效
| 申请号： | 202110008821.X | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112803911B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 许志斌;陆增天;杨明亮;吴庄飞;李壮 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有温度补偿功能的声表面波换能器的制备方法，涉及声表面波器件制造领域，包括：在压电基板上制备叉指换能器，叉指换能器包括相对交叉设置的第一叉指结构和第二叉指结构，两叉指结构相同均包括第一类叉指电极和作为牺牲层的第二类叉指电极；在压电基板上制备第一温度补偿介质薄膜，其剖面形貌具备电极上方凸起、相邻电极指间隙上方平坦的特点；将第一温度补偿介质薄膜的膜厚降至第一类叉指电极厚度附近形成第一温度补偿介质层；腐蚀并剥离牺牲层；在第一类叉指电极和第一温度补偿介质层表面制备第二温度补偿介质层。利用牺牲层技术控制介质的表面形貌，通过双层介质的控制减小插入损耗并提升了声表面波换能器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 补偿 功能 表面波 换能器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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