[发明专利]痕量气体探测装置及方法有效
| 申请号： | 202110011017.7 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112683846B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 胡水明;王进 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N21/39 | 分类号： | G01N21/39;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种痕量气体探测装置，包括：激光器模块；光学谐振腔，包括腔体和两块反射镜，其中，腔体用于装填含有痕量气体的待测气体，两块反射镜垂直腔体的轴线放置于腔体的两端；透镜组，位于激光器模块和光学谐振腔之间；光电探测模块，用于接收光学谐振腔出射的光信号，并将光信号转换为电信号；反馈控制模块；光谱扫描控制模块，用于产生扫描信号，并将扫描信号发送给光学谐振腔，以改变光学谐振腔的腔长，使光学谐振腔出射多个光信号；以及数据采集模块，用于在光电探测模块将多个光信号转换为多个电信号后，接收多个电信号，并生成痕量气体的分子吸收光谱。此外，本公开还提供了一种使用该装置进行的痕量气体探测的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 痕量 气体 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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