[发明专利]一种双向粗糙度检测硅棒处理装置有效
| 申请号： | 202110011738.8 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112648966B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 张文解 | 申请（专利权）人： | 宁波聚睿众邦检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;B24B5/04;B24B5/50;B24B5/35;B24B1/04;B24B41/02;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 315040 浙江省宁波市高新区沧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅棒领域，尤其涉及一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明的技术问题是：提供一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明的技术实施方案为：一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有安装机架、运行控制屏、第一轴承架板、第二轴承架板、长距离电动滑柱和粗糙度检测系统等；运行控制屏与安装机架相连接。本发明实现了对硅棒表面环向和纵向的双向粗糙度检测，粗糙度合格的硅棒直接进行加热氧化处理，粗糙度不合格的则直接进行表面重新打磨处理直至其粗糙度合格并且能够对检测装置与硅棒接触的位置进行扫刷，而且还能够对砂纸进行弹动、振动，将砂纸打磨面积累的硅粉除去的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双向 粗糙 检测 处理 装置 | ||
【主权项】：
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