[发明专利]一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法

摘要

本发明公开了一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法。该方法先利用微纳加工技术中的光刻和深硅刻蚀工艺在硅表面制备悬垂微米柱阵列，然后通过银镜反应在微米柱顶部沉积纳米银颗粒，利用O2等离子体刻蚀处理获得纳米复合结构，最后通过全氟烷基氯硅烷对获得的微纳复合结构进行低表面能修饰从而获得超疏水超疏油的功能性表面。本发明方法制备的微纳复合结构其微米/纳米结构形状、高度、疏密可调，具有操作简单、容易实现以及成本低等优点，可以获得很好的机械性能，在防污、自清洁、水油分离等方面有广阔的应用前景。