[发明专利]伪模态抑制型射频谐振器结构有效
| 申请号： | 202110012423.5 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112821878B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;周杰;邹杨;刘炎;林炳辉;徐沁文;谷曦宇;罗天成;高超 | 申请（专利权）人： | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 315832 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种伪模态抑制型射频谐振器结构。包括下电极层、压电层、上电极层、凹陷上电极层、凸起压电层、凹陷压电层。其中，凹陷上电极层位于交叠区域处；凸起压电层位于外部区域处，且比有效区域高；凹陷压电层位于外部区域处，位于所述凸起压电层之间。本发明申请通过调整凹陷上电极层、凸起压电层、凹陷压电层的深度、宽度和位置关系，能够使谐振器满足谐振频率关系为：f |
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| 搜索关键词： | 伪模态 抑制 射频 谐振器 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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