[发明专利]一种测量高能粒子离化电荷粒径的方法在审
| 申请号： | 202110014987.2 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112817036A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 闫薇薇;曾传滨;高林春;李晓静;倪涛;李多力;罗家俊;韩郑生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01T5/00 | 分类号： | G01T5/00;G01T5/02;G01N15/02;G11C11/417 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于集成电路技术领域，公开了一种测量高能粒子离化电荷粒径的方法，包括：采用单个高能粒子垂直入射设置有多个分页的静态随机存储器电路的方式进行辐照实验；在所述辐照实验中，获取选通的所述多个分页的静态随机存储器电路单粒子翻转阈值；基于所述静态随机存储器电路单粒子翻转阈值以及所述多个分页的串联器件间距确定高能粒子离化电荷粒径。本发明提供的测量高能粒子离化电荷粒径的方法能够实现高能粒子离化电荷粒径的可靠评估。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 高能 粒子 电荷 粒径 方法 | ||
【主权项】：
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