[发明专利]一种低温漂薄膜体声波滤波器的膜层结构及制备方法在审
| 申请号： | 202110017097.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112865743A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘娅;马晋毅;孙科;徐阳;田本朗;蒋平英 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 卢胜斌 |
| 地址： | 400060*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜体声波滤波器工艺技术领域，具体涉及一种低温漂薄膜体声波滤波器的膜层结构及制备方法，包括硅晶圆衬底，所述硅晶圆衬底的中央开设有空腔，在所述硅晶圆衬底上依次制备下电极、压电层、上电极1、温补层、上电极和保护层，所述温补层设置于上电极1和上电极之间，且温补层包裹于上电极1。采用复合上电极的膜层结构，在常规上电极中插入温补层，进而影响压电材料的取向变差，使压电材料的有效机电耦合系数下降；复合上电极不影响压电层的取向和有效机电耦合系数，可降低对薄膜体声波滤波器性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 薄膜 声波 滤波器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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