[发明专利]一种高温铂薄膜电阻温度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110017510.X | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112880852B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 张丛春;庞雅文;吕振杰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铂薄膜电阻温度传感器及其制备方法，包括：陶瓷衬底；设置于陶瓷衬底上表面的氧化铂薄膜粘结层；设置于氧化铂薄膜上表面的铂薄膜电阻层；设置于铂薄膜电阻层上表面的中间保护层，中间保护层上表面设有第一无机胶层；设置于铂薄膜电阻层上并覆盖于引线焊点上的第二无机胶层；设置于第一无机胶层及第二无机胶层上表面的釉料层。本发明通过多层结构调配了各层之间的热膨胀系数，减小了热应力，拓宽了Pt薄膜电阻的高温使用范围；最上层的釉料层的机械性能和密封绝缘性能良好，保护铂薄膜电阻免受外界环境的影响；封装后的铂薄膜电阻温度传感器具有线性度好、测量温区大、高温稳定性好特点，提高了测试精度和对不同环境测试的适应能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 薄膜 电阻 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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