[发明专利]单晶棒直径测量装置、单晶棒生长系统及方法有效
| 申请号： | 202110019643.0 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112857297B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张千千;张鹏举;陈凡 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/10 | 分类号： | G01B21/10;C30B29/06;C30B15/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;陈丽宁 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶棒直径测量装置，用于采用直拉法制备单晶棒生长过程对单晶棒直径的测量，包括：位于单晶棒在第一方向上相对的两侧的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器用于测量单晶棒位于固液界面处的第一测量位置的第一测量直径，所述第二传感器用于测量所述第一测量位置的第二测量直径，所述第一方向为与单晶棒的轴向方向相垂直的方向；处理结构，用于根据所述第一测量直径和所述第二测量直径获得所述第一测量位置的实际直径。本发明还涉及一种单晶棒生长系统及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶棒 直径 测量 装置 生长 系统 方法 | ||
【主权项】：
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