[发明专利]一种超微型MEMS节流制冷红外探测器有效
| 申请号： | 202110020080.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112880233B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 黄立;李晓永;王玲;黄太和;王立保 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | F25B23/00 | 分类号： | F25B23/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 郑飞 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外探测技术领域，为一种超微型MEMS节流制冷红外探测器，包括MEMS制冷器和封装杜瓦，MEMS制冷器包括制冷器换热通道，封装杜瓦包括外壳和真空密封于外壳内的陶瓷基板，陶瓷基板的一面与制冷换热通道通过低温胶粘接，另一面上固设有冷屏和芯片，制冷器换热通道包括节流元件、冷流体通道和热流体通道，热流体通道的一端为进气口接高压气体源，另一端经过节流元件后与冷流体通道一端接通，冷流体通道的另一端为出气口通过外壳的通道流向大气。芯片级超微型制冷器采用MEMS技术制备微流通道代替机械缠绕的毛细管，具有工艺新颖、制冷器本身低热质量、尺寸小、振动低和无磁性等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 mems 节流 制冷 红外探测器 | ||
【主权项】：
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