[发明专利]一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法有效
| 申请号： | 202110021643.4 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112764149B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张伟丽;冯操;朱瑞;王建国;朱美萍;孙建;刘晓凤;沈雪峰;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL) |
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| 搜索关键词： | 一种 深紫 平板 偏振 分光镜 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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