[发明专利]一种银金属薄膜层蚀刻液及其制备、应用有效
| 申请号： | 202110022572.X | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112852429B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文;王芳;侯倩;张靖伟 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种银金属薄膜层蚀刻液及其制备、应用，银金属薄膜层蚀刻液包括以下质量百分比组分：磷酸55％，醋酸15％，硝酸5‑6.5％，醋酸盐0.7‑1％，亚氨基类0.1‑0.2％，咪唑啉类衍生物0.1‑0.2％，余量为水。发明通过在蚀刻液中同时添加一定比例的醋酸、醋酸和咪唑啉类衍生物，有效的解决药液酸度过高而导致的过刻蚀、刻蚀不均匀、银回粘现象、小黑点的缺陷等问题，使药液性能更稳定、使用寿命更长、药液兼容性更强，蚀刻良率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 薄膜 蚀刻 及其 制备 应用 | ||
【主权项】：
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