[发明专利]注入器

摘要

一种注入器，被构造成放置在批处理炉组件的处理室，用于将气体注入到所述处理室中。注入器具有包围注入室的细长的管状壳体。壳体具有：气体入口，用于将气体从气体源供应到注入室；至少一个气体供应口，用于将气体从注入室供应到处理室；和周向壁，在壳体的纵向方向上延伸。周向壁包括第一侧壁半部和第二侧壁半部。两个侧壁半部在纵向方向上基本上跨壳体的长度。第一侧壁半部和第二侧壁半部通过机械紧固彼此紧固。