[发明专利]一种沟槽终端结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110023025.3 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112768506A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 李加洋;陶瑞龙;胡兴正;薛璐;刘海波 | 申请（专利权）人： | 滁州华瑞微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 239000 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沟槽终端结构及其制备方法，沟槽呈环状分布于有源区的外围，在沟槽的外围设有截止环，沟槽包括若干条间断沟槽和一条连续沟槽，所述连续沟槽位于间断沟槽与截止环之间，每条间断沟槽包括若干条等间距设置的间断子沟槽，且相邻间断沟槽的间断子沟槽交错分布。本发明使得终端位置的电势分布更均匀，并减小了终端宽度，提升了器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沟槽 终端 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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