[发明专利]碲-氮化硼复合材料及其制备方法和场效应器件在审
| 申请号： | 202110025590.3 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112885894A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 秦敬凯 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | H01L29/26 | 分类号： | H01L29/26;H01L21/34;H01L23/373;B82Y40/00;B82Y30/00;C01B21/064 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 刘方 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碲‑氮化硼复合材料及其制备方法和场效应器件，该制备方法包括以下步骤：S1、在基板上制备氮化硼纳米管；S2、在所述氮化硼纳米管的表面覆上光刻胶，然后采用光刻工艺结合反应离子刻蚀工艺，将所述氮化硼纳米管切割成具有两端开口的段体，去除所述光刻胶；S3、将步骤S2得到的基板浸入45～55℃的氨水中处理，然后置于空气氛围中在800～900℃热处理；S4、将步骤S3得到的基板和碲粉置于真空密闭体系中，在300～500℃加热。本发明使用氮化硼纳米管作为碲半导体的包覆材料，解决碲纳米线材料在常温空气条件下工作稳定性差的问题，在场效应器件中具有更好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 复合材料 及其 制备 方法 场效应 器件 | ||
【主权项】：
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