[发明专利]一种石英摆片窗口的低应力成形方法在审
| 申请号： | 202110026458.4 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112661392A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨稳;李立勇;王宪东;刘宝凤;高岩 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B33/08;C03C15/00;C09K13/08 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王利文 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石英摆片窗口的低应力成形方法，包括以下技术特点：配制预蚀刻溶液并计算刻蚀速率；绘制加工不同窗口所需的切割图形；使用CO2激光器切割石英摆片挠性平桥附近的窗口，用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净；使用绿光激光器切割石英摆片上的C形槽和中心圆孔，用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净；在显微镜下检查石英摆片的表面质量，按要求其表面应无明显的坑点、划痕等缺陷。本发明通过分别使用CO2激光器与绿光激光器切割出石英摆片上的各窗口，实现了石英摆片窗口的低应力成形加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 窗口 应力 成形 方法 | ||
【主权项】：
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