[发明专利]一种基于静电喷涂聚合物绝缘层的NO2

摘要

本发明是一种基于静电喷涂聚合物绝缘层的NO2气体传感器的制备方法，利用静电喷涂的方法，通过调控聚甲基丙烯酸甲酯溶液（1）的浓度，同时调控直流高压电源（2）的输出电压，将聚甲基丙烯酸甲酯球状雾滴（3），静电喷涂在SiNx/Si衬底片（4）表面，形成多维半球面绝缘层。利用真空蒸镀法先后将六联苯分子和酞菁铜分子蒸镀在多维球面绝缘层上，形成六联苯有机诱导层（5）和酞菁铜有机半导体敏感层（6）。最后蒸镀金叉指电极（7），得到基于静电喷涂聚合物绝缘层的NO2气体传感器。