[发明专利]一种陶瓷盘量测设备在审
| 申请号： | 202110026949.9 | 申请日： | 2021-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN112729195A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 | 申请（专利权）人： | 拓思精工科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;F16F15/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种陶瓷盘量测设备，包括量测平台、位于所述量测平台一侧的上料组件以及位于所述量测平台上的量测组件；所述量测平台上设置有定位吸盘，所述上料组件包括送料小车与位于所述送料小车一侧的机械手，所述量测组件包括X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组以及位于所述Y轴模组运动端的量测头，所述量测头与所述定位吸盘位置对应。本发明在量测平台、上料组件以及量测组件的配合作用下，采用量测头对陶瓷盘上晶片贴附后的晶片厚度进行检测，无需人工操作，减少了人力的消耗，提高了检测效率，并且减震平台与直线电机模组的配合使用，能够极大地降低检测过程中陶瓷盘所受的震动，提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 盘量测 设备 | ||
【主权项】：
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