[发明专利]一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法

摘要

本发明公开了一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法，传感器包括激励电感、应变敏感电容和传感器电感。应变敏感电容包括衬底层、绝缘介质层、结构层悬臂叉指结构、表面电极。应变敏感电容与传感器电感固定连接，构成LC谐振回路。激励电感与传感器电感形成电磁场的近场耦合。LC应变传感器固定在轴承上，通过激励电感无线读取LC谐振回路，根据谐振频率变化计算旋转轴承应力大小。本发明将微机电系统的微型化特征与LC传感器无线无源结构相结合，具有灵敏度高，电容变化大，线性度好，对加速度不敏感特点，可用于旋转轴承中的高灵敏度测量。