[发明专利]一种真空镀膜中样品翻转装置有效
| 申请号： | 202110031442.2 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112877667B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 郑军;赵栋才;王启民;张泽 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王瑞 |
| 地址： | 243032 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 样品 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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