[发明专利]微气流传感器及系统

摘要

本申请涉及微气流传感器及系统，具体而言，涉及一种气体流速检测领域；本申请提供一种微气流传感器包括：基底、栅极、源极、漏极、容器、第一石墨烯层、第二石墨烯层、通气管和连接部；当该通气管有微小气体通过时，微小气体通过通气管的出气部作用在该容器内部的第二石墨烯层上，使得该第二石墨烯层发生运动，进而使得该第二石墨烯层发生形变，使得该第二石墨烯层的曲率发生改变，进而引起该第二石墨烯层上的载流子密度发生改变，通过该在该微气流传感器通入输入电流，由于该第二石墨烯层上的载流子密度发生改变，进而使得该微气流传感器的输出电信号发生相应的改变，根据输出电信号与待测微气流流速的对应关系，得到待测微气流流速。