[发明专利]太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法

摘要

一种太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法,属于太阳能电池技术领域。太阳能电池边缘绕镀的去除方法包括：在制绒后的N型硅片正面形成硼掺杂层和硼硅玻璃层；在N型硅片背面依次形成隧穿氧化层和掺磷非晶硅层或者在N型硅片背面形成磷掺杂层，在这过程中掺磷非晶硅层或者磷掺杂层绕镀至N型硅片侧边和硼硅玻璃层表面边缘形成边缘绕镀层；采用等离子气体刻蚀的方法将边缘绕镀层刻蚀去除。其能够有效地去除边缘绕镀，且不容易破坏PN结。