[发明专利]铜腐蚀的检测方法有效
| 申请号： | 202110034401.9 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112881270B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 陈志伟;刘忠辉 | 申请（专利权）人： | 住华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种铜腐蚀的检测方法。铜腐蚀的检测方法包含以下步骤：提供多层基板，其中多层基板包含铜层；形成裂口于多层基板中，其中裂口的深度达到铜层；形成感光性树脂组成物于多层基板上，感光性树脂组成物覆盖裂口并与铜层接触；提供光罩层于多层基板上，实行曝光制程；移除光罩层以及实行显影制程；对多层基板实行后烘烤制程；以及观察裂口的铜腐蚀程度。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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