[发明专利]蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110035016.6 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112877645B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 徐海 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方卓印科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备，属于显示技术领域，该蒸镀坩埚包括：坩埚支架，包括底座、固定架和连接于底座和固定架之间的支撑件；坩埚本体，包括固定本体和可伸缩本体，固定本体具有固定容纳腔，固定本体的一端设置有排出口，另一端与可伸缩本体的一端连通，可伸缩本体具有可变容纳腔，固定容纳腔和可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料；驱动组件，包括固定部和移动部，固定部固定于底座，移动部连接于可伸缩本体远离排出口的一侧，移动部沿可伸缩本体的伸缩方向往复移动。本公开提供的蒸镀坩埚，驱动组件通过驱动可伸缩本体伸缩，维持蒸镀材料与排出口之间的距离基本不变，确保蒸镀的均一性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 具有 设备 | ||
【主权项】：
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