[发明专利]一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110037623.6 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112880887B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李成;刘宇健;樊尚春 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京中南长风知识产权代理事务所(普通合伙) 11674 | 代理人： | 郑海;张学元 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器，包括硅压力敏感单元(1)、石墨烯膜(2)、夹持件(3)、玻璃封盖(4)、插芯(5)以及光纤(6)。传感器以真空封装的石墨烯膜为谐振元件，通过对悬浮石墨烯膜光热激振，并基于法布里‑珀罗干涉原理检测石墨烯膜挠度变形。硅压力敏感单元的主体为感压硅膜，在硅膜上表面制作有盲孔结构，石墨烯膜通过夹持件被周边固支于硅膜上表面的盲孔上。外部被测压力直接作用于感压硅膜使其产生应变，导致位于硅膜上方的石墨烯膜的刚度改变，进而使石墨烯谐振频率发生改变，通过解调该谐振频率的变化实现压力测量。本发明的压力传感器尺寸微型化、测量范围宽、稳定性好、灵敏度高、抗电磁干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 封装 石墨 谐振 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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