[发明专利]薄膜材料热膨胀系数的测试装置有效
| 申请号： | 202110037744.0 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112881459B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;张玉龙 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李岩 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜材料热膨胀系数的测试装置，包括热膨胀系数测试结构、加热结构和射频测试仪器。其中，热膨胀系数测试结构包括衬底、射频传输线和热膨胀系数测试MEMS结构，射频传输线包括第一信号线段和第二信号线段；热膨胀系数测试MEMS结构包括待测薄膜组件、梁结构和位移测量结构，待测薄膜组件设置在所述衬底上且与第一信号线段相连，梁结构与待测薄膜组件相连；位移测量结构与第二信号线段相连，且间隔开地位于梁结构的下方；射频测试仪器用于测试热膨胀系数测试MEMS结构的射频隔离度，以最终获得待测薄膜热膨胀系数。本发明可以测得不同材料、连续温度点的、小面积的薄膜的热膨胀系数，通用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 材料 热膨胀 系数 测试 装置 | ||
【主权项】：
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