[发明专利]一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器在审
| 申请号： | 202110039134.4 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112781716A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;胡耀华;姜鸣;任斌;王福杰;郭芳;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01L9/04;G01L9/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，包括：壳体,所述壳体包括封装盖和封装衬底，在封装衬底上开有用于接收声波的开口；压力传感器，其设置在所述壳体内部，内部包括压力感应部分和压力输入部分；MEMS微机电系统，其设置在所述壳体内封装衬底上并与声学传感装置连接，用以处理声学传感装置中传递的声学信号，和处理一些压力传感器接收和反馈的信号；声学传感装置，设置在壳体内部，与所述MEMS微机电系统连接；集成电路，其设置在壳体内部，所述集成电路用以给压力传感器、MEMS微机电系统和声学传感装置供电和确定声学输出和环境压力输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 mems 环境 压力 声学 传感器 | ||
【主权项】：
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