[发明专利]一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备在审
| 申请号： | 202110039586.2 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112856981A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;王福杰;任斌;郭芳;胡耀华;姜鸣;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/06;F26B21/14;F26B25/18;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备，包括控制系统、底板、有机玻璃箱体、水平运动结构、旋转运动结构和垂直运动结构，所述控制系统位于有机玻璃箱体外用以控制装置对MEMS器件圆片进行干燥，所述有机玻璃箱体安装固定在底板上，所述水平运动结构包括滑动槽和滑动块，与第三控制块相连，所述旋转运动结构包括固定盘和旋转轴，所述垂直运动结构位于水平运动结构一端包括喷气头和第一滑动支撑杆，和与第一控制块相连的喷气头，本发明将MEMS器件圆片置于密封的有机玻璃箱体中进行干燥，避免了人工在开放环境中操作对MEMS器件圆片微结构造成的污染，同时本发明采用机械运动结构实现了MEMS器件圆片干燥的自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 器件 自动 干燥设备 | ||
【主权项】：
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