[发明专利]一种镀膜机有效
| 申请号： | 202110039595.1 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112695274B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 嘉兴乐威欧文科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 浙江启明星专利代理有限公司 33492 | 代理人： | 吴克平 |
| 地址： | 314399 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜技术领域，具体为一种镀膜机，包括支撑机构，腔体侧壁，晶圆放置机构，真空系统，镀膜腔，蒸发机构，以及控制系统。支撑机构的四周固定连接有腔体侧壁，腔体侧壁在支撑机构的上部及顶盖的下部之间形成镀膜腔，镀膜腔的顶盖处设置有真空系统，在所述镀膜腔内部下侧设置蒸发机构，控制系统嵌设在底座机构的内部。将真空系统设置在镀膜腔的顶部，可以降低有机材料下降回落到镀膜腔的内壁或者腔室底部的位置的比例。达到降低有机材料二次蒸发导致对晶圆上器件各功能层制作过程中材料的纯度，进一步提高器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
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