[发明专利]提高光栅周期测量精度的装置和方法有效
| 申请号： | 202110041338.1 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112880973B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 曹良才;李瑶瑶;王凌翊;曾理江;施玉书 | 申请（专利权）人： | 清华大学;中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李岩 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法，所述装置包括：激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器，激光器用于发出预设波长的激光；第一隔离器上设置有第一通孔，激光穿射第一通孔，第一隔离器用于防止激光反射至激光器；第二隔离器上设置有第二通孔，激光经第一通孔后穿射第二通孔；多个反射镜用于反射改变激光的方向；转台上设置有光栅，激光经过反射镜反射至光栅，并经由光栅衍射后原路返回；探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置，简单易实现，可以有效地降低测量不确定度，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 光栅 周期 测量 精度 装置 方法 | ||
【主权项】：
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