[发明专利]载置面清扫方法在审
| 申请号： | 202110042239.5 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN113134494A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 斋藤良信;右山芳国;柿沼良典;谷山优太;生岛充;椙浦一辉 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供载置面清扫方法，使载置被加工物的载置面接近没有灰尘附着的状态。一种载置面清扫方法，当在载置于载置面上的被加工物的一个面上形成由树脂构成的板状的保护部件时对载置面进行清扫，该载置面清扫方法包含如下的工序：在载置被加工物的载置面上载置由树脂形成的片材；对载置面进行加温，并且将片材朝向载置面按压，由此使与载置面接触的片材的正面溶解，利用片材的溶解的正面取入载置面的灰尘；以及使载置于载置面上且通过溶解的正面取入了灰尘的片材从载置面分离，将灰尘从载置面去除。 | ||
| 搜索关键词： | 载置面 清扫 方法 | ||
【主权项】：
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