[发明专利]一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉及其工艺方法

摘要

本发明公开了一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉，包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述内室的底部设有进气口，其顶部设有盖体，所述盖体上设有与所述内室连通的气管，所述气管的另一端与真空泵连接，所述外室的中间设有环形发热体，所述内室的中心设有石墨发热体，所述石墨发热体的外侧套设有匹配的一体式碳碳套筒；所述内室内设有套设在所述石墨发热体外侧的隔板，所述隔板用于对碳碳坩埚进行分隔，所述隔板上设有通孔，所述碳碳坩埚的内层和外层均设有形状匹配的石墨工装。本发明采用上述一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉及其工艺方法，生产的产品质量稳定，节省能源，大大降低生产成本及周期。