[发明专利]一种基于可调谐FPI的中红外气体测量方法及装置在审
| 申请号： | 202110043487.1 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112858206A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 谢品华;季红程;徐晋;李昂;黄业园;任博;田鑫;李晓梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 合肥兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于可调谐FPI的中红外气体测量方法，包括如下步骤：(1)同步控制光源的调制频率和探测器端的解调设置；其中，光源发射光束，通过控制可调谐FPI的驱动电压改变FPI腔长，实现可调谐的干涉滤光效果；再利用探测器接收滤波后的调制光束，得到光谱扫描；(2)获取探测器的暗光谱，测得光源的灯谱数据和待测气体的光谱数据；(3)使用DOAS技术，得到去除干扰气体影响的实际待测气体浓度。本发明还提供了一种基于可调谐FPI的中红外气体测量装置。本发明的以较低成本和较小的仪器尺寸实现相应的检测功能，也避免了NDIR技术的复杂校准步骤，在保证测量精度的同时，还有效提升了气体浓度测量系统的易用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 调谐 fpi 红外 气体 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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