[发明专利]搬运机械手及叠压装置有效
| 申请号： | 202110046749.X | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112873227B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;杨志;李国林 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06;H01G4/12;H01G4/30;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张鹏 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种搬运机械手及叠压装置，涉及叠压装置技术领域，所述搬运机械手包括上压板、中间板、弹性件、滚珠花键轴、吸附台和驱动机构，所述滚珠花键轴的一端安装于所述上压板，另一端穿过所述中间板后与所述吸附台连接，所述滚珠花键轴能够相对所述中间板沿所述滚珠花键轴的轴向移动，所述弹性件设置于所述上压板与所述中间板之间，所述弹性件用于使得所述上压板与所述中间板具有相对运动的趋势，所述驱动机构连接于所述上压板与所述中间板之间，所述驱动机构用于调节所述上压板与所述中间板之间的距离。弹性件对于上压板施加向上的推力，从而可抵消部分上压板及滚珠花键轴、吸附台等的重力，提高驱动机构驱动精度，以使得机械手获得更高的对位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机械手 装置 | ||
【主权项】：
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