[发明专利]一种空气桥互连条形阳极的准垂直肖特基二极管有效
申请号: | 202110047632.3 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN112802891B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 代鲲鹏;张凯;范道雨;吴少兵;陈堂胜 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L23/367;H01L29/872 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 施昊 |
地址: | 210016 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种空气桥互连条形阳极的准垂直肖特基二极管,包括半绝缘衬底、高掺杂外延层、低掺杂外延层台面、阴极金属、条形阳极金属、保护介质、阳极加电金属平板和金属空气桥;高掺杂外延层和阳极加电金属平板之间相隔一段间距、均设于所述半绝缘衬底上;低掺杂外延层台面和阴极金属相距一段距离或相接触、均设于所述高掺杂外延层上;条形阳极金属设于所述低掺杂外延层台面上,条形阳极金属与阴极金属之间保持一段间距;金属空气桥位于所述阳极金属和阳极加电金属平板之上,将条形阳极金属和阳极加电金属平板相连接。本发明通过采用条形阳极结构降低了肖特基二极管串联电阻,提高了截至频率和散热能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 空气 互连 条形 阳极 垂直 肖特基 二极管 | ||
【主权项】:
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