[发明专利]化学机械平坦化设备在审
| 申请号： | 202110049486.8 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN113134783A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张庭熏;颜宏;沈稘翔;黄富明;林均洁;张宗宪;崔骥;陈亮光;陈志宏;陈科维 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34;H01L21/306 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;闫华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种化学机械平坦化设备。化学机械平坦化设备包括一多区域平台包括多个独立控制的同心超环形。每个同心超环形的旋转方向、旋转速度、作用力、相对高度和温度都是单独控制的。同心研磨垫固定到在每个单独控制的同心超环形的一上表面。化学机械平坦化设备包括一单一中心浆料源或包括用于每个单独控制的同心超环形的单独浆料源。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 平坦 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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