[发明专利]可变网格低质量MEMS反射镜有效
| 申请号： | 202110049540.9 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112817146B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 凯文·亚苏穆拉 | 申请（专利权）人： | 谷歌有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;邓聪惠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及可变网格低质量MEMS反射镜。提供了一种组件，诸如MEMS反射镜或其它通常的盘状组件，该组件具有跨其背侧表面的可变网格图案。可变网格包括肋，该肋在组件的中心部分或旋转轴线附近具有第一厚度，并且在远离中心或旋转轴线的部分处具有第二较窄的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 网格 质量 mems 反射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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