[发明专利]白光干涉三维形貌噪声区域重构算法

摘要

本文公开了一种用于白光干涉三维形貌噪声区域的重构算法。本文首先对视场内的所有像素点进行干涉质量评价，将其分为有效点和噪声点，生成干涉质量评价的二值矩阵。再根据干涉质量评价矩阵，将三维形貌中的噪声点用四个方向的距离最近的有效点的加权值代替，成为新的有效点，并对干涉质量评价矩阵进行迭代更新，直至干涉质量评价矩阵内的点全部为有效点，完成整个视场内所有噪声点的重构，并生成新的三维形貌。该算法可以有效解决白光干涉测量过程中由于噪声、灰尘、被腐蚀的凹坑等原因引起的样品真实形貌测量不准确的缺点。