[发明专利]一种屏幕光处理的方法有效
| 申请号： | 202110052778.7 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112382557B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 张海滨;林全海;徐维良;陈亮;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;G02B5/08;G09F9/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215156 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子设备制造技术领域，公开了一种屏幕光处理的方法。屏幕光处理的方法包括：S1、在第一直屏朝向第二直屏的一侧涂抹光反应涂层；S2、光源发出的激光束垂直照射第二直屏以穿过第二直屏后照射第一直屏上的待处理区域内的光反应涂层；S3、在第二直屏朝向第一直屏的一侧涂抹光反应涂层；S4、光源发出的激光束穿过间隔腔照射第二直屏与第一直屏正对区域的待处理区域内的光反应涂层。本发明降低了光处理的操作难度及复杂程度，减少了生产时间，减少了通过间隔腔进行光处理的区域，提高了光处理位置的准确性，保证了产品合格率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屏幕 处理 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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