[发明专利]纳米结构的气体传感器阵列和包括该阵列的设备在审

专利信息
申请号: 202110055087.2 申请日: 2021-01-15
公开(公告)号: CN113138208A 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 范智勇;宋志龙 申请(专利权)人: 香港科技大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;G01N33/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 张娜;李荣胜
地址: 中国香港*** 国省代码: 香港;81
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摘要: 发明提供了一种气体传感器阵列和包含该气体传感器阵列的设备。该气体传感器阵列包括:电绝缘的三维多孔模板,其包括多个第一孔和多个第二孔;多个导电的第一金属修饰的金属氧化物膜,每个形成在对应的第一孔内并且包括第一金属氧化物膜和第一金属修饰颗粒,第一金属氧化物膜的第一内表面附接在相应的第一孔的内壁上,第一外表面上修饰有第一金属修饰颗粒;以及多个导电的第二金属修饰的金属氧化物膜,每个形成在对应的第二孔内并且包括第二金属氧化物膜和第二金属修饰颗粒,第二金属氧化物膜的第二内表面附接在相应的第二孔的内壁上,第二外表面上修饰有第二金属修饰颗粒。第一金属修饰颗粒和第二金属修饰颗粒由不同的金属制成。
搜索关键词: 纳米 结构 气体 传感器 阵列 包括 设备
【主权项】:
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