[发明专利]金叉指微型电化学传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110058014.9 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112881487A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 魏淑华;张静;王嗣涵;孟庆一 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京金咨知识产权代理有限公司 11612 | 代理人： | 宋教花 |
| 地址： | 100144 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金叉指微型电化学传感器及其制造方法，所述金叉指微型电化学传感器包括：单晶硅衬底，所述单晶硅衬底为第一设定厚度；所述单晶硅衬底上设有第二设定厚度的二氧化硅层；所述二氧化硅层的表面设有叉指形电极对，所述叉指形电极对由内向外包括10～20nm的纳米钛粘合层和50～150nm的纳米金传感层。所述制造方法，采用了集成电路微纳加工的制造方式，以二氧化硅为绝缘衬底，钛/金分别为粘合层/传感层，通过电子束蒸发和金属剥离工艺制备而成。并在多种有机试剂清洗及真空低温干燥工艺的处理下，批量化得到结构形貌完整，电化学特性灵敏的金叉指微型电化学传感器，理化性质更稳定，响应灵敏，耐受强酸、强碱和多种有机溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 金叉指 微型 电化学传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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